真空爐的“心臟部件”——石墨制品,以2800℃以下性能安穩(wěn)、半導體級潔凈度和導電導熱可控三大優(yōu)勢,成為高端制作的隱形柱石。從發(fā)熱體到密封件,它們在極點環(huán)境下確保工藝安穩(wěn)性,支撐起半導體、航空航天等領(lǐng)域的精細制作。
在半導體芯片退火、航空航天材料燒結(jié)等高端制作領(lǐng)域,真空爐是中心設(shè)備,而真空爐用石墨制品則是其 “心臟部件”—— 從1000℃的硅片分散到2000℃的鈦合金熔煉,從0.1Pa的高真空到惰性氣體維護氛圍,石墨制品以 “耐高溫、抗腐蝕、低蒸發(fā)” 的特性,撐起了真空爐內(nèi)的精細制作。
