真空爐石墨爐床板下降外表粗糙度的方法首要包括以下幾個步驟:
一、原資料挑選與質(zhì)量操控
挑選高純度石墨:保證石墨原資料的顆粒巨細均勻、純度滿足,防止含有過多雜質(zhì),這是下降外表粗糙度的根底。
原資料檢測:在加工前,對石墨原資料進行嚴格的檢測,保證其質(zhì)量符合加工要求。
二、加工工藝優(yōu)化
合理設(shè)置加工參數(shù):
切削速度:挑選合適的切削速度,防止過低或過高導致外表粗糙度增加。
進給量:操控進給量的巨細,一般情況下,進給量越小,外表粗糙度越小。
刀具挑選:選用導熱功能好、化學功能穩(wěn)定的刀具,防止因刀具與被加工資料發(fā)生親和效果而導致外表粗糙度過大。
選用精加工技術(shù):
拋光:運用精密的拋光設(shè)備和磨料,對石墨爐床板進行拋光處理,以去除加工過程中發(fā)生的微小劃痕和不平坦。
磨削:經(jīng)過磨削工藝進一步進步石墨爐床板的外表質(zhì)量,到達所需的精度和光潔度。
三、涂層處理
涂覆熱解石墨或熱解氮化硼涂層:
經(jīng)過化學氣相堆積(CVD)技術(shù)在石墨爐床板外表堆積一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層。
這種涂層不只能夠防止石墨粉塵揮發(fā)出來污染反應腔室,進步產(chǎn)品的純凈度,還能夠保護石墨爐床板,延長其運用壽命。
同時,涂層本身具有較低的外表粗糙度,能夠進一步提升石墨爐床板的外表質(zhì)量。
四、存儲與保護
存儲環(huán)境操控:將石墨爐床板存放在干燥、通風、無污染的環(huán)境中,防止?jié)駶櫋⒏邷鼗蛭廴緦ζ渫獗碓斐刹涣加绊憽?br>防氧化處理:在石墨爐床板外表涂覆防氧化劑,推遲其氧化速度,堅持外表光潔度。
綜上所述,經(jīng)過原資料挑選與質(zhì)量操控、加工工藝優(yōu)化、涂層處理以及存儲與保護等多方面的措施,能夠有效地下降真空爐石墨爐床板的外表粗糙度,進步其外表質(zhì)量和功能。
